氟化镁晶系具有良好的光学、力学和化学性质，是一种非常重要的光功能晶体材料，用途十分广泛，在制备氟化镁薄膜时也经常使用。

　　高通量氟化镁薄膜的制备方法有许多种，如：真空蒸发、等离子辅助沉积、溅射法等。工业界使用溅射法*多，因为它能在较低的基片温度下实现气相生长，并能获得大面积薄膜。但溅射方法也有其缺点：在纯Ar气氛下制备的氟化镁薄膜中，氟镁比不匹配，且存在较强的光吸收。经研究者们的实验，脉冲激光沉积膜的制备方法已经出现在人们面前，它能够很好地保持体材中F/Mg的化学配比，且具有较高的透射率和较低的折射率。

　　尽管氟化镁薄膜的制备工艺较为繁琐，但由于其折射率低、透明波段宽、能隙宽、热稳定性好、机械强度高、激光损伤阈值高等优良性能，成为制备增透膜、高反膜和高损伤阈值膜的重要材料。共同来了解一下，氟化镁薄膜在各种制备光学膜上的应用吧。

　　1.用作透镜材料。

　　为了提高其透光率，在玻璃基体上镀膜，以提高其透光率的实际应用中，单层增透膜中使用*多的是氟化镁，因为它不仅具有适当的折射率，接近于单层膜的理论值，而且其质地坚硬，稳定性好。所以，它除起增透作用外，还能起到一层保护膜，能提高某些玻璃的化学稳定性。

　　2.制备Cu-MgF2纳米陶瓷膜。

　　研究者利用真空蒸发的方法制备了Cu-MgF2纳米金属陶瓷膜。微观结构分析表明，在MgF2陶瓷基体中，膜颗粒均匀分布在fcc-Cu晶粒中，其平均粒度在14~16nm左右。

　　3.制作AlxGa1-xAs/GaAs太阳电池MgF2/ZnS双层减反射膜。

　　其基本原理是利用光波在上下表面减反射膜上、下表面上反射而产生的光程差，使两束反射光干涉相消解，从而削弱反射，增加透射。当太阳能电池材料和入射光谱确定时，减反射效应取决于减反射膜的折射率和厚度。

　　MgF2折射率相对于ZnS有更好的折射率和更宽的透光范围，是较常用的减光材料组合。利用这两种特性，研究者通过实验得出：Al0.8Ga0.2As/GaAs太阳电池对MgF2/ZnS的双层减反射膜，能显著减少阳光反射，增加光吸收，提高太阳电池短路电流和转换效率。

　　4.制备MgF2-TiO2混合渐变折射率薄膜。

　　运用混合介质理论模型和TFCalc膜系设计软件，采用双源共蒸法，制备了MgF2-TiO2混合渐变折射率薄膜。实验表明，该薄膜在400~800nm波段反射率仅为5.56%，其衰减特性优于层状介质的减反膜，适合于全天候工作环境。